東京大學宣(xuān)布,與LAN TECHNICAL SERVICE公司(總(zǒng)部:東(dōng)京都新宿區)合作開發出了新技術(shù),能夠不使用(yòng)粘合(hé)劑,在常溫下粘合超薄玻璃和搬運用玻璃(lí)基板,而且,經過加熱處理後,還(hái)能在常溫下從搬運用(yòng)玻璃基板上剝離超薄玻璃。利用這項技術,在(zài)生產過程中就(jiù)可以直(zhí)接使用難(nán)以處理的超薄(báo)玻璃,不僅有望大幅革新柔(róu)性顯示器等超薄顯示(shì)器(qì)的生產工序,還(hái)有望為降低環境負荷(hé)作出巨大貢獻。
智能手(shǒu)機現在使用的液晶屏的玻璃厚度以0.2mm為主流,這個厚度的玻璃容易彎曲,很難使用機器人搬運。現行製造工序首先要在厚度達到0.4~0.5mm的玻璃基板上形成液晶顯示(shì)元件,然後用氫氟酸浸泡玻(bō)璃,通過化學拋光(guāng)的方式,使玻璃基板的厚度減至0.2mm。但這種方(fāng)法能實(shí)現的最小厚度為0.1mm,而且必須使用高(gāo)毒性的氫氟酸(suān),在環境成本方麵是一個沉重的負擔。
從成本和可行(háng)性考(kǎo)慮(lǜ),最理想的(de)製造方法是,先(xiān)將超薄玻璃粘在搬運用玻璃基板上,在(zài)完成TFT製(zhì)造工序、彩色濾光片製造工序、封裝工序後,再從搬運用玻璃基板上(shàng)剝離超薄玻璃。但在實際操作中,粘合劑接合無法耐受300℃以上的加熱(rè)處理,不(bú)使用粘合劑的直接接合則需要實施400℃以上的加(jiā)熱加(jiā)壓,在後續的加熱處(chù)理中,粘合的強度會增大,因此接合麵很難(nán)剝離。
此次開發的方法是用離子束在(zài)玻璃的(de)一個表麵(miàn)形成幾納米厚的矽膜,使玻璃表麵先暴露(lù)於含水(shuǐ)的(de)氮氣環境中,然後回到真空或幹燥的氮氣環境中,通(tōng)過擠壓兩(liǎng)張玻璃,使其實現常溫接合。玻璃表麵的矽膜會與氮(dàn)氣中的水分反應產生羥基,起到(dào)粘合劑的作用。接合後的剝離是通過在接合麵上製造裂縫進行機械剝離。因為在高(gāo)溫加(jiā)熱處理時,羥基會分解產生氫氣,在接合麵上形成大量微(wēi)孔(泡(pào)沫狀空隙(xì)),使接合麵的(de)強度減(jiǎn)弱,因此,在500℃下進行90分鍾的加熱處理後,接(jiē)合麵的(de)強度不會增(zēng)強,可以(yǐ)實現(xiàn)機械剝離。