叼嘿视频鋼化爐近日了解到(dào)肖特(SCHOTT)將在日本市場推出光敏玻璃“FOTURAN II”,該產(chǎn)品可(kě)在紫(zǐ)外線照射下結晶化,可用做半導體及生物技術領(lǐng)域的玻璃基板(bǎn)。
在紫外線照射(shè)下,玻璃本(běn)身會發生變質(zhì),再經過熱處理就會結晶化(陶瓷化),成為光敏玻(bō)璃。無需使用光刻膠,隻用氫(qīng)氟(fú)酸即可僅蝕刻(kè)結晶化的部分。肖特的產品的特點是,玻璃部與陶瓷(cí)部(bù)的刻蝕選擇比高(gāo)達30比(bǐ)1,容(róng)易加工。
使用光刻膠蝕刻普通(tōng)玻璃時,蝕刻會向各向同性發展,因此很(hěn)難實現高深寬比加(jiā)工。而感光性玻璃是選擇性蝕刻結晶化的部分,從原理上來說沒有深寬比限製,因此能夠實現(xiàn)20~30μm的微細圖案加工。