德國的(de)特(tè)種玻璃廠商肖特(SCHOTT)將(jiāng)在日(rì)本市場推(tuī)出光敏(mǐn)玻(bō)璃“FOTURAN II”,該產品可在紫外線照射下結晶(jīng)化,可(kě)用做半導體及生物技術(shù)領域的玻璃基板。
在紫外線照射下,玻璃(lí)本身會發生變質(zhì),再經(jīng)過熱處理就(jiù)會結晶化(huà)(陶瓷化),成為光敏玻(bō)璃(lí)。無需使用光刻膠,隻(zhī)用(yòng)氫氟酸即可僅蝕刻結晶(jīng)化的部分。肖特新產品的特點是,玻璃部與陶瓷部的(de)刻蝕(shí)選擇(zé)比高達30比1,容易加(jiā)工。
使用光刻膠蝕刻普通玻(bō)璃時(shí),蝕刻會向各向同性發展,因此很難實現高深寬比加(jiā)工。而感光性玻璃是選擇性蝕刻結晶化(huà)的部分,從原理上來說沒有深寬比限製,因此能夠(gòu)實現20~30μm的微細圖案加工。
曝光時推薦使(shǐ)用波長320nm的紫外線,可使用“UV300”曝光裝置。雖然使用紫外線激光器(qì)時掃描耗(hào)費時間,但不需(xū)要掩模。而且,利用激光的焦點,還可實現玻璃基板內部(bù)的隧道結構(gòu)(橫孔)等複雜的立體結構(gòu),而使用以往蝕刻技術時必(bì)須要層疊玻璃才能實現。實際上,目前已有客戶瞄準(zhǔn)微流體展開製造,因此有望成為無需(xū)掩模即可製造少(shǎo)量生產的MEMS等的手段(duàn)。
新產品在晶圓狀時能夠以最大300mm(12英寸(cùn))的(de)尺寸(cùn)供應。在片狀時能以(yǐ)最大200mm見方的(de)尺寸供應。
除此之外,肖特還在日本展(zhǎn)出用於創意家電(diàn)等的光敏玻璃(玻璃陶瓷),以及已開始在智能手機指紋(wén)傳感(gǎn)器蓋板中采用的超薄板玻(bō)璃等(děng)產(chǎn)品。